微型旋转机械轴承研究进展

摘要

本文的主要研究对象是微机电系统（MEMS）旋转机械微轴承，为了能够清晰明确的表达，笔者首先简要介绍了微型旋转机械轴承的相关概念，从而使读者能够从宏观上对本文的研究对象有一个把握，进而在此基础上进一步介绍微型干摩擦、电磁和气体轴承的研究现状，最后简要的探讨微尺度效应和滑流效应对微型气体轴承润滑特性的影响，在这些基础上，总结微型旋转机械轴承研究的进展。