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微型旋转机械研究进展

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对微机电系统(MEMS)旋转机械,尤其是微旋转机械中微电机和动力MEMS的研究现状进行评述,介绍微电机和动力MEMS的发展历程,探讨微旋转机械的动力驱动和微尺度效应,示例阐述微电机和动力MEMS的应用前景和影响因素,并对相关领域的研究进展进行展望.

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来源
《第8届全国转子动力学学术讨论会》|2008年|106-109|共4页
会议地点湖南湘潭
作者

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作者单位

中国振动工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类转动机件;
关键词
微机电系统; 微旋转机械; 微电机; 动力MEMS; 微尺度效应;

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