单机实现三大基本特征分析功能的吉时利超快C-V测量系统

摘要

吉时利仪器公司推出最新的4225-PMU超快I-V测试模块，进一步丰富了4200-SCS半导体特征分析系统的可选仪器系列。它在4200-SCS已有的强大测试环境中集成了超快的电压波形发生和电流，电压测量功能，实现了更宽的电压、电流和上升／下降，脉冲时间动态量程，大大提高了系统对新材料、器件和工艺进行特征分析的能力。同样重要的是，