中国首条G11代掩膜版生产线产品下线

摘要

2019年1月23日,位于成都市高新西区的成都路维光电有限公司(简称“成都路维”)迎来了自开工建设以来的重要时刻:国内首条第11代高世代掩膜版项目的首张掩膜版产品成功下线。由此,我国首条自主研发生产的高精度第11代掩膜版正式诞生!标志着我国首次具备了超大尺寸面板用掩膜版的量产能力,实现了超高世代掩膜版的国产化。据成都路维技术负责人介绍:“成都路维第11代掩膜版产品各项指标达到了行业内国际先进水平,有些指标甚至优于国际水平。”