精密测试平台运动误差分析及自动补偿方法的研究

摘要

为了提高精密测试平台的运动精度,研究了一种基于光电原理,采用计算机系统对精密测试平台产生的运动误差进行自动补偿的方法.根据补偿原理,构建了误差补偿公式,并通过实验,阐述了影响补偿装置灵敏度的相关因素.经反复实验证实本研究方法能够实现优于1 μ m的误差补偿精度.