纳米机械加工与检测技术发展及其教学改革

摘要

纳米机械象征着人类在微观世界取得的重大成就之一,它也代表了一种新型的制造加工技术,这种技术并非独立存在的,从加工方式上说,涵盖了能量束控制、化学腐蚀、扫描显微技术等。在纳米机械“微观技术链”的体系之内,原子力显微镜是一个重要的工具,甚至可以说,它是纳米机械加工与检测技术的基础,实际上满足了纳米级样品的“检测+加工”一体化需要。