用于物体投影处理的主动光学系统

摘要

＜正＞ 使用铜蒸气激光器的主动光学系统在科技领域的应用是有前途的,那里要求以可能的极限分辨率传输和记录光学信息。主动光学系统能在制造无掩模工艺的激光系统中起重要作用。目前制成用激光辐射处理物体的十分精密的系统（参阅文献[2]和它的引文）。本文报导用于物体投影处理的具有半球面谐振腔的主动光学系统。图1示出该装置的光学系统,它由目视监测Ⅰ和成象Ⅱ两个通道组成,它们同时独立工作。目视监测通道是激光投影显微镜系统,它包括铜蒸气激光器的激活元件1、显微物镜2、物体3、分光板4、投影光学系统5和屏6。成象通道由物体3、显微物镜2、发散透镜7、球面反射镜8（它并形成半球面谐振腔）组