国外电子工业特种气体三氟化氮发展概况

摘要

本文概括了国外三氟化氮的发展情况,介绍了三氟化氮的性质、制备、用途和特点,特别指出它在环保方面的优点.三氟化氮是电子工业用特种气体,也是专用化学品,它的市场依赖于半导体工业的发展.到2000年,半导体工业已得到迅速发展,增大了需求量.近期三氟化氮的发展动向主要体现为国外多家公司改进工艺,扩大生产能力和组建合资企业.我国也与美国杜邦公司组建合资企业并扩大生产能力.