CVD金刚石自支撑薄膜的织构分析（2）

摘要

金刚石薄膜的性能对其织构有很强的依赖关系，而织构又受其沉积条件的影响。本实验采用直流等离子注射法，制备了若干金刚石自支撑薄膜样品，并利用极图和ODF研究了不同沉积温度和不同CH4/H2值条件下薄膜的织构变化，同时对组织形貌进行了分析。结果表明，随着沉积温度的升高，{110}织构的强度越来越高，{111}织构的强度逐渐降低，而{221）织构，作为{100）织构的孪生产物，它的强度应该越来越低。另外，随着CH4／H2值的增加，织构的变化不明显，但薄膜的形核密度和二次形核现象有所增加。