CVD自支撑金刚石薄膜微区织构的EBSD检测分析

摘要

本文利用电子背散射衍射技术检测分析了CVD自支撑金刚石薄膜侧面微区织构和孪晶,计算了{100}、{110}、{111}、{122}、{447}、{148}晶面平行薄膜表面的织构在薄膜生长过程中各阶段所占的比例.研究结果表明,不稳定的沉积温度不利于{100}、{110}、{111}织构的形成,孪晶造成了{122}、{447}、{148}织构.