机械特种加工教学案例:超声化学机械抛光实验

摘要

针对机械类本科生教学需求,以科研项目为牵引,设计了机械特种加工教学案例“超声化学机械抛光(UVCMP)实验”。通过该案例,学生可全程参与蓝宝石UVCMP正交实验的设计与实施;学习并使用原子力显微镜、扫描电镜、透射电子显微镜等大型仪器表征样品特性;对蓝宝石UVCMP作用机理进行了深入探讨。该实验有利于学生激发科研兴趣,培养科研素养,启迪创新思维。