X射线衍射仪在薄膜结构分析中的测试方法研究

摘要

研究Tl-1223超导薄膜样品面与定位铝板面的关系对XRD测试结果的影响发现,当样品面相对于铝板面在不同方向成夹角时,会得到差异较大的薄膜结构图。由于夹角的不同,呈现不同的结构,这些形态各异的结构图无法准确描述样品的结晶情况,夹角越小测试结果越符合样品的真实结构。常规的使用橡皮泥来固定样品的方法,由于橡皮泥的物理特性,难以一次性测试成功,通常要多次调整样品的摆放位置才能得到合适可用的测试结果,增加了测试工作量。针对此类现象,在测试Tl-1223超导薄膜样品的实践过程中,提出了采用样品静置的方法以及不锈钢代替橡皮泥固定样品的方法。通过该方法,可以解决样品面和定位铝板面的两面共面问题,使其测试结果能够正确反映超导薄膜的生长信息,得到准确可用的结构相图,为后续工作提供良好的指导作用,而且提高了测试效率。该方法可用于其他使用XRD测试薄膜样品的场合,为相关人员在测试过程中遇到同类问题时提供有效的解决途径。