Therma-Wave获得Tokyo-Electron高级关键尺寸测量应用的复合系统订单

摘要

商机再现归功于微影集成测量的市场渗透 美国加州弗里蒙特市2004年7月27日——Therma—Wave公司(纳斯达克股票代码：TWAV)是制程控制测量系统设备中需要用到的半导体开发、制造及销售的全球领导者，日前公司宣布Tokyo Electron Limited(TEL)再次下单订购多套Therma—Wave集成化测量工具。