一种用制作层膜的溅射蚀刻靶及其转台系统

摘要

本文介绍一种由旋转驱动转台带动四个溅射蚀刻靶的系统。利用这种系统，可通过射频或直流溅射法在不同基片上沉积出连续的薄膜与厚膜。