液晶显示器用曝光装置

摘要

本文介绍了液晶显示器制造装置的市场动态；对ＬＣＤ用曝光机在生产工艺中的地位进行了分析，总结了各类曝光机的特点；并对几种典型的曝光机的独特技术进行了剖析，提出了选准突破口发展我国ＬＣＤ装置业的设想。