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切片机主轴系统的设计、装配与维修

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简述了切片机主轴系统的设计和主轴在装配过程中应当注意的几个环节以及对主轴系统的保养和维护.

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来源
《电子工业专用设备》|2001年第4期|22-26|共5页
作者
种宝春;
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作者单位

信息产业部电子第四十五研究所,;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
主轴系统; 临界转速; 动平衡; 预过盈;

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