半导体四探针测试仪新型恒流源的开发

摘要

首先根据四探针测试理论,阐述了恒流源电路在四探针测试仪中的重要性,给出了对恒流源的基本要求.然后介绍了我们在开发前期实验过的2种恒流源电路,它们分别是级联型镜象电流源电路和电压-电流转换电路.最后介绍了我们实际采用的直接利用反馈运放输出恒流的电路.对每种电路都给出了原理图、电流计算公式和性能分析.