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Reinhard Kuhn;
[约翰内斯·海德汉博士(中国)有限公司,北京,101312;
测量机; 纳米级; 精度; 测量误差;
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机译:罐型精度检查系统,三维测量机布置计划装置,三维测量机布置计划程序和三维测量机布置计划方法
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机译:测量毫米级精度至纳米级精度的电子成分的微米级特征的装置和方法
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