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快速热处理设备温度稳定性研究

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摘要

以快速热处理设备对温度控制的特殊要求为研究目的,研究温度热惯性对温度稳定性的影响,目的是为解决芯片快速退火和快速合金的稳定性和可靠性,并为设计新快速热处理设备提出串级控制建议.

著录项

来源
《电子工业专用设备》|2009年第6期|50-52|共3页
作者
江西元;
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作者单位

中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄,050051;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类热处理炉;
关键词
温度稳定性; 快速热处理设备; 热惯性; 串级控制;
入库时间 2023-07-25 14:29:24

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