CMOS影像感应器构装——湿式无电镀镍沉积技术之最佳化

摘要

无电镀镍金(Electroless Nickel & Immersion Gold;简称ENIG)沉积可以选择性地沉积于铝垫,由于此技术不必使用高成本之光阻微影制程,也不需真空溅镀制程,它可以降低制造成本.然而在实际制造大量生产时,常常面临到化学镀液很难控制之问题.经由精密控制其化学镀液中之一些重要参数,例如温度、pH值、还原剂、镍及稳定剂浓度等,可以明显提高制程性能,以满足量产需求.