半导体生产厂房化学液集中供应系统设计

摘要

根据半导体厂房的工作环境、化学液类型与用途和系统供应目的等,提出了常用化学液集中供应的基本要求,从而得出半导体厂房化学液集中供应的系统设计,系统设计包括系统类型、基本构成、控制流程以及安全技术措施等.