接触接近式光刻机微力找平技术

李霖; 周庆奎

首页> 中文期刊> 《电子工业专用设备》 >接触接近式光刻机微力找平技术

接触接近式光刻机微力找平技术

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

介绍了一种微力找平技术,该技术应用气缸及间隙找平机构,可满足厚胶光刻工艺要求.

著录项

来源
《电子工业专用设备》 |2016年第11期|26-28|共3页
作者
李霖; 周庆奎;
展开▼
作者单位

中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京100176;

中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京100176;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
光刻机; 微力找平; 厚胶光刻;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 接近接触式光刻机三点找平机构研究与应用 [J] . 周占福 . 电子工业专用设备 . 2020,第003期
2. CKJ1001—B型半自动接近接触式光刻机综合技术分析 [J] . 徐幸德 . LSI制造与测试 . 1991,第004期
3. BJK100—B型半自动接近接触式光刻机电气控制系统的设计思想 [J] . 朱钢 . LSI制造与测试 . 1991,第004期
4. 有关BKJ100—B型半自动接近接触式光刻机的工艺保证措施 [J] . 葛新民 . LSI制造与测试 . 1991,第004期
5. 接触式表面轮廓测量系统中的微恒力技术浅谈 [J] . 王亚萍 ,张玉明 . 科技风 . 2016,第019期
6. 混合红外焦平面器件倒装焊芯片非接触找平方法 [C] . 孙娟 . 第十三届全国红外科学技术交流会 . 1998
7. 浸没式光刻机浸没单元微环境恒温气浴技术的研究 [A] . 曾强辉 . 2018

1. 接近接触式光刻机对准工作台找平机构 [P] . 中国专利： CN102135731B . 2016.12.14

2. 接近接触式光刻机对准工作台找平机构 [P] . 中国专利： CN102135731A . 2011-07-27

3. Inductive proximity switch for use as non-contact electronic switching device in automation technology, has transmitter and receiving coils arranged outside of shell core for evaluating installation situation of proximity switch [P] . 外国专利： DE102012202825A1 . 2013-08-29

机译：电感式接近开关，用作自动化技术中的非接触式电子开关设备，其发射和接收线圈布置在壳芯外部，用于评估接近开关的安装情况

4. Device for guiding and measuring fleece material web, has contactless sensor arranged in region below guide rollers with measuring gap laterally adjacent to web section approaching web loop or web section running away from web loop [P] . 外国专利： DE102010054324A1 . 2011-07-28

机译：用于引导和测量无纺材料幅材的装置，具有非接触式传感器，该非接触式传感器布置在导辊下方的区域中，该测量接触件在横向上接近于接近幅材幅面的幅材段或远离幅材幅面的幅材段的测量间隙

5. Inductive proximity switch for use as contactlessly operating electronic switching device in automation technology, has linear non-active transmitter coils quickly degrading magnetic alternating field of active transmitter coils [P] . 外国专利： DE102010063749A1 . 2012-06-21

机译：电感式接近开关，用作自动化技术中的非接触式电子开关设备，具有线性无源发射器线圈，可迅速降低有源发射器线圈的交变磁场

相关主题

接触接近式光刻机微力找平技术

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅