SiC二极管功率循环试验结温应力条件研究

摘要

功率循环试验(即IOL,也译作间歇工作寿命试验)是车规级电力电子器件的重要可靠性试验项目,主要考核器件的键合线、基板的焊接可靠性.相关国际标准规定的试验条件比较宽泛,随着新材料、新工艺的发展,尤其是SiC等第三代半导体材料的工业化应用,带来了器件各项工艺指标的整体提升,焊接可靠性也得到了显著提高,按照传统标准进行的功率循环试验已经难以达到暴露器件焊接工艺缺陷的目的,而按照原有试验条件增加试验周期又面临成本升高、周期过长的困境,无法满足工艺设计的可靠性评价需求,因此有必要对试验条件展开研究,探索合理的加速试验条件,适应当前阶段新型第三代半导体器件的可靠性提升水平,缩短试验周期.