浅述多晶硅生产用沉积载体

摘要

基于沉积载体硅芯的形态,介绍了圆硅芯、方硅芯和中空硅芯等3种加工方式,并从原料成本、设备折旧、能源消耗、人力成本、制造费用等关键生产要素方面对硅芯的生产成本进行估算,同时分析了硅芯的应用情况,并总结了多年来多晶硅生产实际应用的经验。