离子色谱法同时测定化学抛光液中的4种有机酸

摘要

建立了化学抛光液中甲酸、草酸、酒石酸、氨三乙酸等4种有机酸的离子色谱?抑制电导测定方法.采用IonPac AS11分析柱(250 mm×4 mm)和IonPac AG11保护柱(50 mm×4 mm),柱温30°C,以20 mmol/L氢氧化钠水溶液为洗脱液,在1.00 mL/min的流速下洗脱,4种酸可得到很好的分离.再结合AERS-500阴离子抑制器和电导检测器,测定了4种酸的含量.甲酸、草酸、酒石酸、氨三乙酸的质量浓度与其离子色谱峰面积有良好的线性关系,检出限分别为0.01、0.08、0.02和0.05 mg/L,加标回收率在92.4％ ～107.3％范围内,相对标准偏差在0.70％ ～4.56％范围内.该方法前处理简便,能同时测定化学抛光液中上述4种有机酸的含量,可用于在线测定和控制.