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硅基微机械加工技术

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就微电子机械系统而言,硅基微机械加工技术是其重要的实现技术之一.这种技术的应用是微电子机械系统形成良好性能的重要保障.本文从硅基微机械加工技术的种类入手,对这种加工技术的应用进行分析和研究.

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来源
《电子世界》 |2016年第23期|161|共1页
作者
于周顺泽;
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作者单位

大庆市实验中学;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
硅基; 微机械加工技术; 应用;

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