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探测出隐藏各种缺陷的空洞检测系统

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本文主要介绍了专用于探查晶圆片凸点空洞的装置--德国FeinFocus公司的WBI-FOX型自动化X 射线检查系统.并简要叙述了此装置的主要特征和应用前景.

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来源
《电子质量》|2005年第2期|21,9|共2页
作者
杨建生; 陈建军;
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作者单位

天水华天微电子有限公司,741000;

天水华天微电子有限公司,741000;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.07;
关键词
晶圆片凸点空洞; 检查系统; 特征; 应用;
入库时间 2023-07-25 09:24:32

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