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激光共聚焦生物芯片扫描仪扫描台位置反馈信号的变换

         

摘要

文章介绍了激光共聚焦生物芯片扫描仪中高速扫描台二维扫描控制系统位置反馈信号,重点分析研究了光栅传感器输出的模拟位移信号的变换和处理.

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