超大规模集成电路测试现状及关键技术

摘要

集成电路是新一代信息技术战略产业的基础,关乎国家的信息安全和经济安全.集成电路测试是集成电路产业链的关键技术环节,贯穿于设计、制造、封装和应用等全产业链.集成电路设计、工艺和封装等技术的发展,对集成电路测试提出了挑战.在总结集成电路测试分类的基础上,研究了集成电路测试的全流程,基于集成电路测试设备的发展现状,详细地分析了超大规模集成电路的ATE自动化测试、测试向量转化优化和高速信号完整性测试等关键技术,最后展望了超大规模集成电路测试技术发展.