密封器件内部气氛测试技术

摘要

器件内部腔体的有害气氛是影响器件可靠性的主要原因之一，检测及分析器件内部腔体气氛是提高器件可靠性的重要依据。对密封器件内部气氛分析表明，我国在器件封装工艺质量方面存在较大缺陷，需及时解决。