基于LabVIEW制备硅基一维光子晶体的计算机驱动程序

摘要

在制备硅基一维光子晶体如多孔硅分布Bragg反射镜和多孔硅微腔的实验中,为实现电脑程序驱动的电化学腐蚀平台的精确控制,使制备的光于晶体高低折射率层的界面更平整和硅孔大小更加均匀,我们利用NI推出的虚拟仪器开发平台软件LabVIEW编写了一套制备硅基一维光子晶体的计算机驱动软件.实验结果发现,由该软件驱动Keithley2400数字电源制备的PS-DBRs显示出了纳米级平整的界面和反射率高、阻止带宽的光学特性.