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磁性薄膜微电感器件的研究进展

     

摘要

综述了磁性薄膜微电感的研究现状,介绍了四种不同电感器件的结构设计(平面螺旋型,磁芯螺线管,曲折结构及夹心条状结构)及其优缺点和磁芯材料(坡莫合金,铁氧体,非晶,纳米晶软磁)对电感器件的影响.

著录项

  • 来源
    《电子元件与材料》|2005年第4期|68-71|共4页
  • 作者单位

    上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;

    上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;

    上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;

    上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;

    上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;

    上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;

    上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;

    上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 电感器、线圈、扼流圈;
  • 关键词

    电子技术; 磁性薄膜; 综述; 微电感; 结构设计; 磁芯材料; 电感量; 品质因子;

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