大型精密测量设备的微振研究

摘要

微振对精密测量设备的测量精度有很大的影响。文中针对一种大型精密测量设备进行微振研究。依据惯性测量原理，对运行中的设备进行微振测试。根据微振测试结果得出设备的谐振点、启停的振荡时长、微振的位移振幅以及不同微振源对精度的影响程度等，并给出解决谐振问题的具体措施。微振研究结果对同类产品的设计具有指导意义。