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张捍东; 尹柯;
安徽省马鞍山市;
微机控制系统; 屏蔽; 设计; 电磁干扰;
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机译:用于控制微机械致动器的控制器,用于控制微机械致动器的控制系统,微镜系统和用于驱动微机械致动器的方法
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