TFT可采用液态硅旋转涂布工艺生产

摘要

＜正＞精工爱普生公司（Seiko Epson）与JSR公司共同开发了一种采用液态涂布和喷墨成形工艺的硅薄膜。这种硅薄膜是一种低温多晶硅TFT （薄膜晶体管）,其性能可与采用传统CVD（化学气相沉积）方法