中微：中国半导体装备国产化的先锋

摘要

本文所报道的中微半导体设备（上海）有限公司，是我国在集成电路制造设备领域的一个杰出企业。中微多年专攻等离子刻蚀设备的研制，紧跟国际技术前进步伐，现已跻身国际一流行列，在我国半导体设备行业尤其突出。中微在长期坚持自主研发的基础上，不仅拥有多项国际发明专利，而且严格遵守和熟练运用知识产权有关法规，从容应对挑战，从而在高技术产业领域的国际竞争中处处主动。他们的经验在今天新的全球化条件下，尤其值得关注。