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浅探超声波检测在半导体工艺中的应用

         

摘要

近些年以来,半导体工艺整体上呈现显著提升的趋势,而与之相应的检测工艺也获得了突显的转型。具体在制造多种多样的半导体时,一般来讲不能缺少检测半导体涉及到的手段与措施。与其他检测手段相比,超声波检测体现为独特的工艺检测优势。这是由于,超声波探测在客观上有助于杜绝检测误差,针对检测精度也能着眼于全面加以提升。

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