洁净服性能检测技术概述

摘要

概述洁净室的发展历史和现状,归纳了洁净服的应用现状和性能要求。在研究洁净服相关检测方法和标准的基础上,分析了各种检测方法和标准的优缺点,包括检测洁净服洁净性能的空气粒子过滤效率法、等效孔径法、可脱落大颗粒法和Body Box法,以及检测洁净服静电性能的感应静电电压及半衰期法、摩擦电压法、静电衰减时间和表面电阻等。