SPC质量管理工具在半导体扩散工艺中的应用

摘要

本文通过生产实际案例，研究了SPC质量管理工具在半导体磷扩散工艺中的应用，运用SPC控制图判断准则，对生产过程中的质量异常情况进行了监控和分析，通过一系列的纠正预防措施，使得质量异常得到管控，工序控制能力指数得到提升。