一种基于温度平衡控制系统的全向流量传感器

摘要

本文设计了一种新型热膜式流量传感器，该传感器工作于温度平衡模式，通过控制芯片表面的温度平衡能够对360°全向流量进行检测。该芯片包含了四个恒温差(CTD)模块，每一个模块包含有一个加热器和一个敏度敏感器。4个CTD模块用于对芯片进行加热，并通过控制各区域加热功率的大小以保持芯片各区域之间温度平衡，利用四个加热器功率之间的差分运算就能够对全向流量进行监测。经测试，该基于该温度平衡控制系统的全向流量监测系统流向测试误差小于2°。