基于STM芯片单片机磁控溅射发射光谱的在线检测系统开发

摘要

实时检测磁控溅射放电过程中不同元素及含量,对于溅射成膜机理与薄膜成分分析等过程具有重要意义,而中微型光谱仪具有灵敏度高、延时短、分辨率高等优点,为实现灵活实时检测磁控溅射腔体内的各元素提供了可能性。本研究设计了磁控溅射放电过程发射光谱的在线检测系统,采用HR4000光谱仪基于USB通信协议开发出具有良好移植性的软件部分。实验测得的磁控溅射发射光谱数据在误差范围内收敛,能够获得磁控溅射等离子体放电发射光谱特性,并用于光谱分析。