不锈钢表面磁控溅射制备TiN_(x)涂层的颜色性质研究

摘要

磁控溅射技术是目前广泛使用可替代传统湿涂工艺的一种制备装饰性涂层的方法,但涂层外貌特征尤其是颜色特性与工艺参数之间关系研究不够深入。本研究利用磁控溅射技术制备了氮化钛(TiNx)涂层,研究了氮气(N2)流量对涂层颜色特性及化学计量的影响。结果表明,当N2流量增大时,x值逐渐增大为1;涂层颜色从金属灰变成金黄色,最后变成黑黄褐色,亮度亦随之降低;涂层组分中N含量逐渐增多。由Drude理论模型可知,随着涂层N含量增多,钛(Ti)金属键的减少,自由电子数量减少,反射光谱的能量降低,吸收光谱也向低能长波方向移动。