Study on the structural,electrical and optical properties of Al-F co-doped ZnO thin films prepared by RF magnetron sputtering

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• 来源
  《光电子快报：英文版》 |2011年第001期|P.45-48|共4页
• 作者

  马瑞新; 王目孔; 康勃; 王永刚;

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• 作者单位

  ^pof;

  Non-Ferrous;

  Metallurgy,University;

  of;

  Science;

  and;

  Technology;

  Beijing,Beijing;

  100083,China;

  ^pHangxing;

  Technology;

  Development;

  CO.,Ltd.,Beijing;

  100013,China;

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 CHI
• 中图分类 TN304.21;
• 关键词

  ZnO薄膜; 溅射制备; 共掺杂; 光学特性; 结构; 磁控; 射频; 电学;

  机译：ZnO薄膜;溅射制备;共掺杂;光学特性;结构;磁控;射频;电学;