光刻技术在微电子设备中的应用及发展研究

摘要

光刻技术是当前微电子设备产业的关键技术,促进了信息时代的发展.关于光刻技术市场和技术的竞争正在展开,大量的开发和研发资金被投入到竞赛中.通过加强对光刻技术的研究,能提升微电子设备的性能,节约生产资金.本文探讨了光刻技术在微电子设备中的应用及发展.