回转体表面微沟槽阵列化学刻蚀加工

摘要

表面具有微沟槽结构的回转体可作为压辊模具应用于滚动压印工艺,实现微结构的快速复制,也可应用于耐磨减摩及编码轮制造等诸多方面.采用基于干膜的化学刻蚀加工技术,以304不锈钢回转体为研究对象,提出了一种通过优选刻蚀液成分及刻蚀温度等参数并添加刻蚀后抛光工艺步骤从而减小微沟槽侧蚀量的方法.研究结果表明,本方法具有成本低、易操作等优点,可以有效地提高微结构的尺寸精度,最终得到的微沟槽平均线宽约60μm且线宽的相对误差低至1.55％.