保温时间对Pr6O11刻蚀金刚石单晶的影响

摘要

为研究保温时间对Pr6 O11刻蚀金刚石单晶的影响,在900°C和N2中将Pr6 O11与金刚石混合物在不同保温时间下加热,以刻蚀金刚石单晶,通过刻蚀后金刚石单晶的表面形貌、刻蚀深度、单颗粒抗压强度表征刻蚀效果.结果表明:Pr6 O11能促进金刚石表面的刻蚀,其刻蚀程度和最大刻蚀深度随保温时间延长而加深.当保温时间为120 min时,金刚石{111}面和{100}面的刻蚀坑分别为阶梯状倒金字塔形和蜂窝状,最大刻蚀深度分别为15.07μm和4.27μm.金刚石的单颗粒抗压强度随保温时间延长而不断下降,但Pr6 O11刻蚀后金刚石的单颗粒抗压强度高于不加刻蚀剂刻蚀和在空气中直接刻蚀后的单颗粒抗压强度.