热铁盘法抛光CVD金刚石的微观表面研究

摘要

用原子力显微镜对热铁盘法抛光CVD金刚石达到Ra0.016 μm的表面进行观察.在微观表面重现的基础上,对不同方向的表面粗糙度进行探测.发现抛光后的金刚石表面的粗糙度呈现出一定的方向性,最大粗糙度和最小粗糙度方向,两个方向相互垂直.三维形貌图显示,金刚石表面存在较少数量的由点到凸峰,且较大凸峰的高度在50～60 nm之间,是较小凸峰高度的2～3倍.影响表面粗糙度值的因素不仅有表面凸峰的高度,还应考虑表面凸峰的数量和方向性.这种表面特征与抛光时采用的直压式运动方式有着直接联系.