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灯丝间距对CVD金刚石厚膜生长的影响

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摘要

采用热丝化学气相沉积方法制备CVD金刚石厚膜,通过改变灯丝间距和增加围挡,获得生长速度7.5 μm/h,热导率1028 W/(m·K),结构致密,无孔洞,甚至透红光的CVD金刚石厚膜.

著录项

来源
《金刚石与磨料磨具工程》 |2016年第1期|31-33|共3页
作者
赵志岩; 周明于; 郝超;
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作者单位

廊坊西波尔钻石技术有限公司,河北廊坊065300;

廊坊西波尔钻石技术有限公司,河北廊坊065300;

廊坊西波尔钻石技术有限公司,河北廊坊065300;

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正文语种 chi
中图分类人造宝石、合成宝石的生产;
关键词
热丝化学气相沉积; 金刚石厚膜; 灯丝间距; 围挡;

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