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付秀华; 王一博; 潘永刚; 何云鹏; 任海峰;
长春理工大学光电工程学院;
长春理工大学中山研究院;
光驰科技(上海)有限公司;
光学薄膜; 膜厚均匀性; 离子束刻蚀; 三级公自转行星系统; 光学透镜;
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