中红外能量调节滤波器的研制

摘要

为解决信息采集中环境因素的干扰,提高目标判断精度,通过滤光技术,利用不同波段能量比的差异,对同时采集到的波段信息进行能量对比。根据系统要求,在Si基底设计并制备了中红外3.5~5μm波段能量调节滤光膜,选择Ge和SiO作为镀膜材料。依据光学薄膜基础理论,通过建立新的评价函数,结合Macloed膜系设计软件,实现0~30°入射3.5~5μm波段能量调节滤波器的设计与制备。研究能量调节滤光膜的微观组成,分析其在温湿试验前后的光学性能变化的原因,综合利用Ge和SiO吸潮前后光学参数,优化能量调节滤光膜膜系设计,解决其在潮湿环境中长期使用光学性能下降的问题。测试结果表明,制备的能量调节滤波器0°入射时,吸潮前能量调节比为1∶40.9,吸潮后能量调节比为1∶40.7;30°入射时,吸潮前能量调节比为1∶40.04,吸潮后能量调节比为1∶39.04,满足系统要求。